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净化工程是指在一定空间范围内,将空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明等控制在某一需求范围内的工程技术。即不论外在之空气条件如何变化,其室内均维持标准环境。简言之,净化工程主要用于控制产品所接触大气的洁净度及温湿度,使产品能够在一个良好的环境空间中生产、制造。以目前来看,净化工程可以简单划分为三类。
1、乱流式
空气由空调箱经风管与洁净室内的空气过滤器进入洁净室,并经由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态,此型式适用于净化工程等级1,000-100,000级。
优点:构造简单,系统建造成本低,洁净室之扩充比较容易。
缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制成产品。
2、层流式
层流式空气气流运动成一均匀直线形,空气由覆盖率100%的过滤器进入室内,并经由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于净化工程等级需定较高的环境。其型式可分为两种:
(1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,经由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。
优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。
缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。
(2)垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高思维洁净度,尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。
缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板吊架很占空间,维修更换过滤器较麻烦。
3、复合式
净化车间工程复合式是将乱流式和层流式予以复合及并用,可提供局部超洁净的空气。