10万级无尘车间净化工程标准规范

前言：

在每单位空气体积的洁净空间进行分类的水平标准，最大浓度限值大于或等于要考虑的颗粒大小。净化工程指控制产品 (如硅芯片等) 所接触大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。无尘室净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理，均应采用初效、中效、高效空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处理，可采用亚高效空气过滤器代高效空气过滤器。洁净室对于净化空调系统的加湿问题而言，常用的加湿方法有很多种，有淋水、湿膜、高压喷雾超声波等水加湿，这些加湿方法属等焓加湿过程。而喷蒸汽、喷干蒸汽和电极（电热）加湿是向空调送风中喷蒸汽，其加湿方法属等温加湿过程。使用空方法和静态方法进行测试。

100，000级无尘车间：指空气洁净度为100，000的洁净车间.空气洁净度是指在洁净的环境中，空气中悬浮颗粒的数量。当粉尘浓度较高时，空气洁净度一般较低，而粉尘浓度较低时，空气洁净度较高。它是根据每立方米空气的最大允许颗粒数来确定其空气洁净度水平。

本文详细阐述了建造10万级洁净车间的标准规范，并结合现行规范标准，总结了洁净度车间的特点，洁净度达到10万级。

从通风频率的角度来看：

100,000级的要求是每小时18-25次。充分通风后，空气净化时间不超过40分钟。

10000级要求每小时通风25/30，完全通风后空气净化不超过30分钟。

1000级每小时需要40-60次换气，完全通风后的空气净化时间不超过20分钟。

包括10万级净化车间在内的各级洁净度标准如下：

iso 14644根据悬浮粒子浓度的唯一指标，将洁净室及相关控制环境中空气的洁净度分类，只考虑累积分布在0.1微米至5.0微米之间的粒子群。

根据粒径可分为常规颗粒、超微结构颗粒和宏观颗粒。

空气洁净度等级标准：ISO14644-1

空气洁净度等级

大于或等于标准粒径的颗粒最大浓度限值

0.1 um

0.2 um

0.3 um

0.5um

1um

5 um

ISO Class 1

10

2

ISO Class 2

100

24

10

4

ISO Class 3

1 000

237

102

35

8

ISO Class 4

10 000

2 370

1 020

352

83

ISO Class 5

100 000

23 700

10 200

3 520

832

29

ISO Class 6

1 000 000

237 000

102 000

35 200

8 320

293

ISO Class 7

352 000

83 200

2 930

ISO Class 8

3 520 000

832 000

29 300

ISO Class 9

35 200 000

8 320 000

293 000

注意：由于测量过程中所涉及的不确定性，需要确定浓度不超过三个有效浓度数字的水平。

空气洁净度分级标准：GB/T 16292-1996

粒径、数值洁净度级别

最大允许灰尘/立方米

微生物最大允许数

0.